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真（zhēn）空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏覽：1839次

　　真空測量是真空技術中的（de）一個重要組成部分。用於測量真空（kōng）度的儀器稱為真空計。  真（zhēn）空熱處理爐及真空熔煉爐常用（yòng）的真空計有：熱偶真空計電離（lí）真空計（jì）等。它們的工作（zuò）原理如（rú）下：

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏感（gǎn）元件、熱偶規管和測量儀器組成。熱偶規（guī）管與被測真空係統相通，外殼為玻璃管（guǎn），管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不（bú）同時，由（yóu）於溫差效（xiào）應，在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則（zé）熱偶絲（sī）　　的（de）電（diàn）勢限決於加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強（qiáng）有關。壓強（qiáng）低，氣（qì）體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增（zēng）大；反之，則熱電勢減少（shǎo）。回路中的熱電勢用毫伏表（biǎo）測量（liàng），表（biǎo）中（zhōng）的毫伏數即反映出真空

　　度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩（wěn）定（dìng），而接入了穩（wěn）壓（yā）電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

　　（二）電離真空計

　　這種真空（kōng）計主要用於測量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子（zǐ）數與氣體壓（yā）強成正比（bǐ）按照離產生的方法不同，利用熱陰極發射電子使（shǐ）氣體（tǐ）電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離（lí）真（zhēn）空計由熱陰極規管和（hé）測量儀器（qì）組成。測量儀（yí）器由規管工作電源、發射電流穩壓器（qì）、離（lí）子流（liú）測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通。熱陰極（jí）電（diàn）離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集（jí）極。收集極電位相對（duì）於陰極電負電位；柵極相對於（yú）陰極電（diàn）正電位。當電離規管通電加熱後，陰極發射電子，在電子（zǐ）到（dào）達柵（shān）極的過程中，與氣體分子碰（pèng）撞而產生正離子和電（diàn）子的電離現象。當發射電流一定時，正離子數日與被測氣體壓強（qiáng）成正比。正離子被收集極收集後，經測量（liàng）電路放大，可由批示（shì）電表讀出所要測（cè）量的真空度。

　　（三（sān））複合真空計

　　通常，對低（dī）真空和高真空的（de）測量不能用一種真空計來完成，而應采用複合真空計，應用較多的是電離與熱偶式複合真空計。它的測量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測（cè）量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的（de）高真空。複合真空計附有一個熱偶規管、一（yī）個電離規管，分別接在真空係統上，通過旋（xuán）鈕可分別給（gěi）兩個規管加（jiā）熱，並選擇使用。


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